Comment utiliser le tampon de polissage ?

À l'heure actuelle, le polissage chimico-mécanique est largement utilisé dans le traitement de planarisation intercouche des tranches de substrat et du câblage multicouche. Le tampon de polissage est un élément important du système de polissage chimico-mécanique (CMP). Il a pour fonction de stocker le liquide de polissage et de le transporter vers toute la zone de traitement de la pièce. Alors comment utiliser le tampon de polissage?

Voici la liste du contenu :

l Quelle est la composition du matériau de polissage ?

l Quel est le mécanisme du tampon de polissage ?

l Comment utiliser un tampon de polissage pour polir le marbre ?

Quelle est la composition du matériau de polissage ?

Les équipements et consommables utilisés dans le processus CMP comprennent : la machine à polir, le liquide de polissage, le tampon de polissage, l'équipement de nettoyage post-CMP, l'équipement de détection du point final de polissage et de contrôle du processus, l'équipement de traitement et de détection des déchets, etc. Parmi eux, les matériaux CMP comprennent principalement le polissage. fluides, tampons de polissage, régulateurs, nettoyage CMP et autres consommables, tandis que les fluides de polissage et les tampons de polissage représentent plus de 80 % du segment de marché des matériaux CMP et sont les matériaux de base du processus CMP.

Les performances du tampon de polissage sont affectées par des facteurs tels que les propriétés du matériau, la structure de la surface, la forme des rainures de surface et la température de travail. Parmi ces facteurs d'influence, la forme et la taille de la rainure de surface du tampon de polissage sont l'un des paramètres clés des performances du tampon de polissage, qui affecte directement la distribution et le mouvement du liquide de polissage dans la zone de polissage, et affecte la répartition de la température. de la zone de polissage. Le tampon de polissage est aussi une sorte de consommable, qui doit être remplacé à temps. Pour un tampon de polissage qui n'est pas remplacé depuis longtemps, les résidus du matériau enlevés par le polissage y resteront facilement et provoqueront des rayures sur la surface de la pièce. Dans le même temps, si le tampon de polissage après polissage n'est pas nettoyé à temps, les solides adhérant au tampon de polissage après séchage à l'air affecteront la qualité du prochain polissage.

Quel est le mécanisme du tampon de polissage ?

Le tampon de polissage repose sur le mouvement de l'objet à polir sous pression sur la surface pour générer une pression négative de sorte que le liquide de polissage initialement présent dans les ouvertures de la surface à polir s'écoule entre les surfaces.

Comment utiliser a un tampon de polissage pour polir le marbre ?

Le marbre est une sorte de roche métamorphique et sa dureté, sa durée de vie, sa couleur et sa texture peuvent varier considérablement. L'utilisation d'un tampon de polissage diamanté pour marbre pour le polissage humide est le premier choix idéal pour polir le marbre.

(1) Placez le carreau ou la dalle de marbre sur l'établi et serrez-le pour vous assurer qu'il ne bougera pas pendant le meulage ou le polissage. Si le marbre est très poreux, il est recommandé de le recouvrir de ruban de masquage.

(2) Connectez le support à la machine de polissage humide, en veillant à le fermer avant l'installation. Vous pouvez maintenant démarrer le processus de polissage, ouvrir le kit de polissage du marbre diamanté et commencer avec le tampon de polissage grain 50. Collez 50 grains de sable sur le Velcro de la plaque de support et allumez lentement la machine à polir humide. Démarrez la machine à polir à basse vitesse et commencez à polir les bords du marbre, sans dépasser quatre à cinq fois. Avec des grains abrasifs plus faibles, trop d’itérations peuvent broyer plus que nécessaire sans augmenter la valeur de la surface polie.

(3) Assurez-vous que chaque partie de la surface est polie avec du gravier, puis passez au gravier plus élevé. Toutes les zones non polies avec un grain inférieur entraîneront une brillance sous-optimale. Un bon moyen de garantir que chaque partie du bord est polie est d'essuyer la surface du bord avec une serviette humide légèrement essorée et de la sécher. La chaleur fera évaporer l’eau polie. Assurez-vous que toute l’eau s’évapore, puis effectuez une série de polissage humide. Une fois toute la surface polie, passez au gravier immédiatement supérieur.

(4) Continuez et utilisez le kit de polissage de marbre diamanté pour répéter ces processus du grain inférieur au grain supérieur jusqu'à ce que la finition souhaitée soit obtenue.

Aujourd’hui, la technologie des tampons de polissage est bien développée. Et la popularité des tampons de polissage est très élevée et tend progressivement à l'unification des normes internationales. Si vous êtes dans le secteur des tampons de polissage, Hubei Little Ant Diamond Tools CO., Ltd. est un choix idéal.