Application du tampon de polissage dans le polissage chimico-mécanique

Les tampons de polissage sont également appelés peaux de polissage, chiffons de polissage, tampons de polissage et sont des matériaux auxiliaires importants qui déterminent la qualité de surface lors du polissage chimico-mécanique.

Les tampons de polissage peuvent être divisés en tampons de polissage abrasifs et tampons de polissage non abrasifs selon qu'ils contiennent ou non des abrasifs ; selon différents matériaux, ils peuvent être divisés en tampons de polissage en polyuréthane, tampons de polissage non tissés et tampons de polissage composites ; selon les différentes structures de surface, ils peuvent être grossièrement divisés en type plat, type grille et type ligne spirale.

Voici la liste du contenu :

l Quel est le rôle du tampon de polissage dans le traitement de la pièce sur la rectifieuse plane ?

l Combien y a-t-il de façons de polir ?

l Facteurs d'influence d'un tampon de polissage

Quel est le rôle du tampon de polissage dans le traitement de la pièce sur la rectifieuse plane ?

Le tampon de polissage transporte le liquide de polissage vers différentes zones du tampon de polissage de manière efficace et uniforme ; le tampon de polissage décharge en douceur les réactifs et les débris qui ont entièrement réagi chimiquement après le polissage pour obtenir l'effet d'élimination ;

Maintenez le film liquide de polissage sur la surface du tampon de polissage afin que la réaction chimique puisse se dérouler pleinement ; le tampon de polissage maintient la douceur du processus de polissage et la surface n'est pas déformée, pour obtenir une meilleure morphologie de surface de la tranche.

Combien y a-t-il de façons de polir ?

Il existe de nombreuses technologies traditionnelles de planarisation des matériaux, telles que la méthode du flux de chaleur, la méthode de gravure, la méthode du verre rotatif, la méthode de résonance électronique, le CVD à basse pression, le dépôt sélectif, le dépôt-gravure-dépôt, le CVD amélioré par plasma, etc. le processus de planarisation a été appliqué dans le développement. Parce que ces technologies appartiennent à la technologie de planarisation locale des matériaux, pour parvenir à une planarisation globale, l'utilisation de tampons de polissage pour la technologie de polissage chimico-mécanique a progressivement commencé à se développer.

Le tampon de polissage est l'un des consommables importants qui déterminent le taux de polissage et la capacité de planarisation dans le processus CMP. Pour jouer un meilleur rôle avec l'abrasif, le tampon de polissage possède généralement certaines propriétés mécaniques et caractéristiques d'absorption d'eau poreuse. Les trous peuvent aider à transférer les abrasifs et à améliorer l'uniformité du polissage.

Il existe trois types de base de tampons de polissage : les tampons de polissage en polyuréthane, les tampons de polissage non tissés et les tampons de polissage à structure pelucheuse.

Facteurs d'influence d'un tampon de polissage

Dureté : La dureté du tampon de polissage détermine la capacité à maintenir la précision de la surface ; taux de compression : le taux de compression reflète la capacité anti-déformation du tampon de polissage ; Conservation : la conservation du tampon de polissage est la qualité du liquide de polissage stocké par unité de volume du tampon de polissage ; Rugosité : La rugosité de la surface est le degré d'irrégularité de la surface du tampon de polissage ; Densité : La densité est le degré de compacité du matériau du tampon de polissage ;

Aujourd'hui, les usines de tampons de polissage sont bien développées, avec une large gamme de ventes, et tendent progressivement à se conformer aux normes internationales. Par conséquent, différents fabricants choisiront différents tampons de polissage. Qu'il s'agisse d'un tampon de polissage ordinaire ou d'un super tampon de polissage. Le tampon de polissage produit par Hubei Little Ant Diamond Tools CO., Ltd. est le meilleur choix pour un tampon de polissage à sec.